Plasmaanlage

Technische Angaben
Angepasste Kammer	Material: Metall Aisi 304 Abmessungen: je nach spezifische Anwendung
Druck desVerfahren	1 mTorr - 900 mTorr
Vakuummessung	Baratrongauge
Generator	Sonderfertigungfür spezifische Anwendungen (RF Power, 13.56 MHZ)
Pumpensystem	Drehschieber- undTurbopumpe
SPS	SPSohne Touch Screen zur automatischen Steuerung des Prozesses. Es definiert Gasstrom, Druck, Verfahrenszeit usw.
Verfahrensgas	1-5 Gaseinlässe mit MFC (Mass Flow Controller) und oder VSC (Vapour SourceController)
Sicherheitsvorrichtungen	Notausschalter, Vakuumsperre,Übertemperatursperre, CE-Kennzeichen
Verfahrensgas Verbindung	¼"-Swagelok-fitting
Eingangsdruck	1 Bar

Extra: data logging, zusätzlicheGaseinlässe, angepasste Ladeschiene.

Technische Angaben
Standard Kammer	Material: Metall Aisi 304 Abmessungen: je nachRolldimension
Kerndurchmesser	Ø Sonderanfertigung
Geschwindigkeit	0.1-15 m per minute (jenach Plasmaprozess)
Druck des Verfahrens	1 mTorr - 900 mTorr
Vakuummessung	Baratrongauge
Generator	Sonderfertigungfür spezifische Anwendungen (RF Power, 13.56 MHZ)
Pumpensystem	Drehschieber- undTurbopumpe
SPS	SPSohne Touch Screen zur automatischen Steuerung des Prozesses. Es definiertGasstrom, Druck, Verfahrenszeit, Geschwindigkeit des Fließbands usw.
Verfahrensgas	1-5 Gaseinlässe mit MFC (Mass Flow Controller) und oder VSC (Vapour SourceController)
Sicherheitsvorrichtungen	Notausschalter,Vakuumsperre, Übertemperatursperre, CE-Kennzeichen
Verfahrensgas Verbindung	¼"-Swagelok-fitting
Eingangsdruck	1 Bar

Extra: data logging, zusätzlicheGaseinlässe, angepasste Ladeschiene.

Technische Angaben
Standard Kammer	Material: Metall Aisi 304 Abmessungen: je nachKorbdimension Volume: custom designed size
Druck des Verfahrens	1 mTorr - 900 mTorr
Vakuummessung	Baratrongauge
Generator	Sonderfertigungfür spezifische Anwendungen (RF Power, 13.56 MHZ)
Pumping system	Rotary-Roots or Turbo pumps group
SPS	SPSohne Touch Screen zur automatischen Steuerung des Prozesses. Es definiertGasstrom, Druck, Verfahrenszeit, Drehgeschwindigkeit usw.
Verfahrensgas	1-5 Gaseinlässe mit MFC (Mass Flow Controller) und oder VSC (Vapour SourceController)
Sicherheitsvorrichtungen	Notausschalter,Vakuumsperre, Übertemperatursperre, CE-Kennzeichen
Verfahrensgas Verbindung	¼"-Swagelok-fitting
Eingangsdruck	1 Bar

Extra: data logging, zusätzlicheGaseinlässe, angepasste Ladeschiene